1

結(jié)構(gòu)形式

單層英管+水冷屏蔽罩

雙層水冷石英管

雙層水冷石英管

2

晶體尺寸（吋）

4-6

4-6

6-8

3

內(nèi)石英管尺寸（mm）

Φ380×1100

Φ380×1170

Φ410×1170

4

加熱方式

電磁感應(yīng)

電磁感應(yīng)

電磁感應(yīng)

5

加熱功率（kw）

60

40

40

6

加熱頻率（kHz）

8

8

8

7

最高溫度（℃）

2400

2400

2400

8

測溫方式

上、下

上、下

上、下

9

溫度測控范圍（℃）

1000-3000

1000-3000

1000-3000

10

溫度控制精度（℃）

±0.5

±0.5

±0.5

11

控溫模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

功率控制模式

上部溫度控制模式

下部溫度控制模式

12

爐內(nèi)真空度（Pa）

6．00E-04

6．00E-04

6．00E-04

13

抽氣速率（mbar*l/s）

800L/s

800L/s

800L/s

14

漏氣率（mbar*l/s）

5.00E-09

5.00E-09

5.00E-09

15

線圈升降速度（mm/h）

0.02-2

0.02-2

0.02-2

16

線圈升降距離（mm）

≥200

≥300

≥300

17

坩堝升降速度（mm/min）

≥150

≥150

≥150

18

坩堝升降距離（mm）

≥1250

≥850

≥850

19

坩堝旋轉(zhuǎn)速度（rpm）

0.1-20

0.1-20

0.1-20

20

爐蓋開啟方式

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

氣動升降

手動旋轉(zhuǎn)

21

氣體源

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

22

冷卻水壓力（MPa）

0.15-0.2

0.15-0.2

0.15-0.2

23

冷卻水流量（m3/h）

5

6

6

24

冷卻水溫度（℃）

（22-26）±2℃

（22-26）±2℃

（22-26）±2℃

25

冷卻水質(zhì)

PH6-8，軟化純凈水

PH6-8，軟化純凈水

PH6-8，軟化純凈水

26

裝卸料位置

下

上、下

上、下

27

整機控制方式

全自動

全自動

全自動

28

主機尺寸

1400×2100×3800

1400×2100×3600

1680×2200×3600

29

主機重量（kg）

≈2000

≈1800

≈2000